氣氛燒結爐怎么清洗?

氣氛燒結爐適用于金屬，納米，單晶硅，多晶硅，電池等的擴散焊接以及真空氣體保護下，氣氛熱處理的加熱設備。主要用于材料試驗、合成、燒結等。爐體保溫性能良好，節能效果顯著。還可用于、復合材料、粉體材料、結構陶瓷、合金的真空燒結實驗。

洗爐膛步驟：

1、用保護氣體趕出爐膛內空氣法：

(1)保護氣體一般應在電爐升溫前通入爐內;

(2)保護氣體可通過上、下、后三個洗爐口通入，應將排氣口的針閥開至*大，以利于爐內空氣盡快排出;

(3)一般向爐內通入爐膛容積10倍左右的保護氣體，可使爐內氧濃度降至10ppm左右;

(4)當爐內氧濃度符合產品工藝要求時，可將排氣口的針閥關小，以節約保護氣,關閉洗爐口,由進氣口通過流量計進入;

(5)在電爐使用過程中，爐膛內必須維持正壓，以防爐外空氣進入爐膛 。

2、用真空泵預抽真空法：

(1)把任何一個出氣嘴與真空用軟管連接起來;

(2)對爐腔進行預抽真空;

(3)通入保護氣體;

(4)再對爐腔進行預抽真空。